TOPCon设备行业深度报告：TOPCon大规模量产，PECVD成为主流工艺

投资要点
行业转型，TOPCon电池率先实现大规模量产：随着PERC电池量产效率逐渐接近其理论效率，行业开始转向TOPCon/HJT等N型电池。而TOPCon电池以其电池效率高、设备投资成本低、与PERC产线兼容性高等优点，率先实现大规模量产。据不完全统计，截止目前，TOPCon已投产69.75GW，规划待建产能近474GW。
TOPCon存在工艺路线之争。TOPCon电池与PERC电池核心差异在于，新增隧穿氧化层，以及掺杂多晶硅层。以多晶硅层制备方法，TOPCon工艺路线分为LPCVD/PECVD/PVD路线。从工业应用角度看，掺杂多晶硅层制备方法，要求工艺简单、产能大；隧穿氧化层因其对电池整体性能影响十分关键，要求工艺制备的膜层致密度高、均匀性好。
从技术角度看，PECVD法能实现LPCVD法同等制备效果，且清洗绕镀简单，工艺精简、良率预期更高。LPCVD路线技术最成熟，但有严重绕镀、原位掺杂难等问题。因绕镀，LPCVD设备需增加一倍设备；PVD路线，根据ISFH研究观点，PVD钝化效果略差。且实际运行中，维护频率高，开机率低；而PECVD路线轻微绕镀、且清洗容易，可原位掺杂、工艺精简，爆膜问题可通过电池背面微制绒解决。隧穿氧化层质量对电池效率影响至关重要。文献数据显示：从膜层密度角度看，PECVD制备的氧化层密度（2.2g/cm3）要优于LPCVD（2.15g/cm3）；从膜层均匀性角度看，PECVD法制备的氧化层粗糙度1.38nm，与LPCVD制备的氧化层粗糙度1.36nm相当。
从经济性角度看，PECVD路线设备投资成本低、产能大、维护成本低、开机率高。根据皇氏集团机构调研纪录表，（1）PE路线比LP路线设备采购成本少；（2）PE路线工艺时间短，单台设备产能大，设备机台数量少，省空间，设备好布局；（3）维护成本对比：LP路线石英管寿命平均56天，石英舟寿命60天，石英件消耗162万/台/年，PE路线石英管寿命1-2年，只有正常的石墨舟消耗，LP设备的石英件消耗比PE设备费用预计多出3530万/年（5GW计）；（4）设备人员配置上，LP路线估计是PE路线的一倍以上，每天在做维护换石英管，且设备利用率较低，更换石英管需要3-4小时，期间整台设备需停机。
因此，我们认为工艺稳定后，PECVD成为TOPCon主流工艺，推动TOPCon大规模量产。建议关注：光伏整线设备龙头捷佳伟创（公司推出PE-Poly，即采用PECVD路线）、光伏激光设备龙头帝尔激光。
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