半导体设备行业月报：国产化率持续提升，Q2业绩开始兑现高速增长

投资要点
晶圆制造环节景气度较高，半导体设备行业景气度有望延续
2022Q2台积电实现营收181.6亿美元，同比+36.6%，接近指引值上限（182亿美元），同时Q3营收指引为198-206亿美元，将创单季度历史新高，足以验证全球半导体行业较高的景气度。短期来看，新能源等需求持续快速放量，2022年本土半导体行业景气度不必悲观。2022年6月我国新能源汽车销量、产量分别达到59.6和59.0万辆，分别同比+133%和+138%；2022年1-6月累计销量、产量分别为259.1和265.3万辆，分别同比+117%和+118%，市场需求加速放量，对半导体需求持续大幅提升。
对于半导体设备，高基数背景下，市场普遍担心下游客户资本开支下降。然而，我们认为，晶圆产能东移背景下，本土晶圆厂开工率依旧较高，2022Q1中芯国际、华虹半导体产能利用率均超100%，产能吃紧。2022年下游客户资本开支仍有保障，本土半导体设备行业景气度有望延续。
晶圆厂招标追踪：下游招标快速推进，1-6月国产化率约35%
我们以近期规模化公开招标的华虹无锡、积塔半导体、福建晋华、华力集成和华虹宏力为统计标本。1）整体来看，2022年1-6月5家晶圆厂合计完成招标588台，其中6月份68台，主要来自积塔半导体（55台）。2）细分设备来看，2022年1-6月份薄膜沉积设备、刻蚀设备、检测/量测设备、炉管设备招标完成量较大，占比分别为16%、14%、12%和16%。
国产化率方面，2022年1-6月份5家晶圆厂合计完成国产设备招标205台，国产化率约35%。1）细分设备来看，涂胶显影设备、刻蚀设备、CMP设备、炉管设备、去胶机、剥离设备、刷片机等环节国产化率较高，分别为37%、50%、45%、35%、86%、60%和56%。2）细分供应商来看，2022年1-6月北方华创、中微公司、芯源微、拓荆科技、华海清科在上述5家晶圆厂分别完成中标55、21、12、14和8台，表现突出。特别地，6月份积塔半导体完成9台清洗设备招标，全部来自捷佳伟创。
行业进入业绩兑现期，国产替代长期存在&空间广阔
短期来看，本土半导体设备企业已经进入业绩兑现期。中微公司和北方华创率先发布中报业绩预告，均超出市场预期，我们判断Q2半导体设备板块业绩有望延续高速增长。1）中微公司：2022H1营收约19.7亿元，同比约+47%；实现扣非归母净利润4.1-4.5亿元，同比+565%-630%，真实盈利水平大幅提升；2）北方华创：2022H1实现营收50.5-57.7亿元，同比+40%-60%；实现归母净利润7.1-8.1亿元，同比+130%-160%，利润端超市场预期。截至2022Q1末，十家半导体设备企业存货和合同负债合计为208和95亿元，均达到历史最高值，将保障2022全年业绩延续高速增长。
中长期来看，晶圆产能东移&国产替代逻辑长期存在，行业需求景气度有望长期延续。1）晶圆产能东移：集微咨询预计中国大陆未来5年还将新增25座12英寸晶圆厂，总规划月产能将超过160万片，本土对半导体设备需求有望长期维持高位；2）国产替代：2020年中国大陆晶圆设备国产化率仅7.4%，大部分环节不足10%。在半导体行业增速放缓的背景下，设备进口替代逻辑将日益凸显。中长期来看，半导体设备企业的业绩驱动力更多来自市场份额提升，有望表现出高于行业平均的业绩弹性。
投资建议：下游需求旺盛，叠加国产替代驱动，2022年本土半导体设备龙头业绩有望延续高速增长。重点推荐【拓荆科技-U】、【华海清科】、【长川科技】、【芯源微】、【至纯科技】、【北方华创】、【中微公司】、【华峰测控】、【盛美上海】。建议关注【万业企业】、【精测电子】。
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