半导体设备中标专题（2022年7月）：晶圆厂扩产回升，万业企业子公司中标上海积塔多台刻蚀、沉积设备

投资要点：
2022年7月国内主流晶圆厂共开标76台工艺设备，上海积塔为扩产主力。我们以长江存储、华力集成、华力微电子、福建晋华、华虹无锡、合肥晶合、上海积塔、中车时代、中芯绍兴、武汉新芯10家中国大陆主要的IDM或代工企业为统计样本，通过中国国际招标网对上述晶圆厂中标情况进行梳理。2022年7月国内10家主流晶圆厂共开标76台工艺设备，主要来自上海积塔（40台）、华虹无锡（35台）、福建晋华（1台）。22年1-7月合计开标624台工艺设备，主要来自华虹无锡（326台）、上海积塔（250台）、福建晋华（24台）、时代电气（16台）、华力集成（6台）、华力微电子（2台）。
炉管、刻蚀、前道检测设备为2022年7月国内晶圆厂主要开标设备。2022年7月开标的76台设备中，按照不同工艺设备开标数量从高到低排列，分别为炉管设备（44台）、刻蚀设备（10台）、前道检测设备（9台）、沉积设备（8台）、清洗设备（4台）、涂胶显影设备（1台）。2022年1-7月开标的624台设备中，按照不同工艺设备开标数量从高到低排列，分别为炉管设备（163台）、沉积设备（105台）、刻蚀设备（92台）、前道检测设备（73台）、后道测试设备（46台）、清洗设备（37台）、干法去胶设备（31台）、离子注入机（28台）、抛光设备（21台）、涂胶显影设备（18台）、光刻机（10台）。
受国内刻蚀、干法去胶、涂胶显影等设备厂家拉动，中标国产率持续提升。2022年7月中国大陆设备中标数量为37台，国产率达48.68%。2022年1-7月开标的624台设备中，源自中国大陆厂家制造的设备共计226台，占比达36.2%。分晶圆厂看，2022年1-7月，上海积塔设备国产率超60%；分设备看，2022年1-7月国产率较高的环节主要为干法去胶设备（国产率81%）、刻蚀设备（59%）、清洗设备（51%）、抛光设备（43%）、涂胶显影设备（39%）、沉积设备（34%）。
聚焦7月份国内中标厂商，嘉芯迦能（万业企业子公司，中标12台）、嘉芯闳扬（万业企业子公司，9台）、屹唐（4台），排名靠前，持续体现国内厂家在刻蚀、沉积、前道检测、炉管等设备环节的强势地位。
投资建议：重点关注国内半导体设备龙头北方华创（002371）；高端刻蚀设备龙头中微公司（688012）；持续突破高端后道测试机的长川科技（300604）、华峰测控（688200）；涂胶显影与单片清洗不断突破前道环节的国内半导体设备小巨人芯源微（688037）；半导体薄膜沉积龙头拓荆科技（688072）；12寸CMP设备龙头华海清科（688120）；国产清洗设备领军企业盛美上海（688082）、至纯科技（603690）；离子注入机领先企业万业企业（600641）；半导体环保设备领先企业盛剑环境（603324）等。
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